삼성전자가 반도체 세정에 쓰이는 불산(액화 불화수소)을 재사용할 수 있는 시스템을 개발, 시범운영에 들어갔다. 한번밖에 사용하지 못했던 불산을 재활용해 폐기물을 획기적으로 줄이는 동시에 그동안 일본에 의존했던 수입 의존도를 상당부분 낮출 수 있을 것으로 보인다.

15일 반도체업계에 따르면 삼성전자는 최근 고농도 불화수소 세정액을 재사용할 수 있는 시스템을 개발해 화성 반도체사업장 1개 라인에서 시범운영 중이다. 불화수소 세정액을 내부 순환장치를 통해 회수한 뒤 재사용하는 방식이다. 먼지 한톨도 용납하지 않는 나노미터(㎚·1나노는 10억분의 1m) 반도체 기술경쟁에서 세정액은 본래 한차례 사용한 뒤 폐기된다.

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삼성전자는 시범 운영 결과에 따라 전체 설비를 대상으로 한 확대할지 여부를 결정할 계획이다. 삼성전자에서는 향후 재사용 시스템을 전 사업장에 적용한다면 기존 불화수소 사용량의 87%가 줄어들 것으로 보는 것으로 알려졌다.

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반도체업계에서는 일본의 반도체 소재 수출규제 이후 거둔 또 하나의 성과라는 목소리도 나온다. 액화 불화수소의 경우 기체 불화수소에 비해 일본 수입 의존도가 높은 편은 아니지만 여전히 한일관계에 따라 소재 확보가 좌우될 정도로 민감한 품목이다.

한 업계 관계자는 "불산을 재사용하면 해외 수입 의존도도 그만큼 낮출 수 있다"며 "재사용 시스템이 성공적으로 확대되면 국내 반도체 경쟁력이 한층 탄탄해지는 계기가 될 것"이라고 말했다.


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