일론 머스크가 테슬라·스페이스X의 반도체 제조 프로젝트 ‘테라팹’에 새로운 노광 기술을 적용할 가능성이 제기됐습니다.
업계에서는 기존 ASML의 EUV 대신 입자가속기 기반 자유전자레이저(FEL) 방식을 검토하는 것으로 보고 있습니다.
머스크도 최근 X에서 FEL 기반 EUV 장비 관련 게시물에 “FEL FTW”라고 답하며 관심을 드러냈습니다.
테라팹은 차량·로봇·우주 데이터센터용 칩을 설계부터 제조·패키징까지 자체적으로 처리하려는 프로젝트입니다.
현재 최첨단 반도체 노광에는 13.5nm EUV가 사용되며, 관련 장비는 네덜란드 ASML이 사실상 독점 공급하고 있습니다.
ASML 방식은 주석에 레이저를 쏴 플라즈마를 만들고 EUV를 발생시키는 구조로, 장비 가격이 대당 5000억~6000억원에 달합니다.
FEL 방식은 전자를 입자가속기로 가속해 빛을 발생시키며, 가속기 1대로 여러 EUV 장비에 해당하는 광원을 공급할 수 있다는 장점이 거론됩니다.
상용화에 성공하면 EUV 광원 공급량과 파장 조절에 유리해 차세대 D램과 최첨단 로직 반도체의 노광 병목을 완화할 가능성이 있습니다.
동시에 ASML 장비 투자·유지비와 반도체 생산단가를 크게 낮춰 미국 반도체 기업들의 원가 경쟁력을 높일 수 있다는 전망도 나옵니다.
특히 삼성전자·SK하이닉스는 기존 EUV 팹 투자 경쟁력이 약화되고 마이크론 등 미국 업체가 저비용 생산에 성공할 경우 경쟁 구도가 크게 바뀔 수 있어 주목할 필요가 있습니다.